Le McGill Nanotools - Microfab est entièrement compatible avec les tranches de 150mm.
Lithographie
- Mode contact. UV large bande (300nm-450nm)
- Faisceau d'électron
Films Minces
- LPCVD Nitrure et Polysilicium
- Oxydes Thermiques
- Évaporation par faisceau d'électrons
- Pulvérisation cathodique DC et RF
- Tournette et atomisation pour les polymères
Gravure Sèche
- DRIE
- RIE (HBr, Cl2, CF4, CHF3, SF6, O2, Ar...)
- XeF2 Gravure isotrope
Autres Procédés et assemblage
- Collage de tranches (Anodique, Moléculaire, Eutectique, Couche intermédiaire)
- Découpe de précision
- Polissage
- Laminateur
- Microsoudure avec fil d'or ou d'aluminium
Characterisation
- Ellipsometrie
- Interféromètre en lumière blanche
- Microscopes
- Reflectometre
- Mesure des contraintes résiduelles
- Résistance de feuille
- Station sous pointes
- Profilomètre
- AFM